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1974年,斯坦福大学研发出首台超声波扫描显微镜,该超声扫描显微镜配备了50MHz超声波换能器探头。随后,俄罗斯科学院实现了GHz超声波扫描显微镜和高达500MHz的透射超声扫描显微镜。第一台商用检测超声波扫描显微镜由斯坦福大学、俄罗斯科学院、牛津大学联合研制,该超声扫描显微镜覆盖100MHz到1.8GHz的频率范围。 随后的几十年,超声波扫描显微镜得到了快速发展,检测分辨率和准确性不断提高。在超声扫描显微镜的研制上,美国和德国起步早,发展快,检测技术也比较领先。但是,随着超声波扫描显微镜在科技领域不断扮演不可或缺的角色,国内也陆续开展了相关研制,十几年前就已推出国产超声扫描显微镜。 目前,超声波扫描显微镜已成为某些行业科研及生产制造不可或缺的检测设备,国内公司在超声扫描显微镜研发上不断增加投入,逐步缩小了与国外超声扫描显微镜的差距,与进口超声波扫描显微镜同台竞技。 |
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超声波扫描显微镜助力半导体封装检测 |
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超声波扫描显微镜,Scanning Acoustic Microscope (SAM),顾名思义,就是利用超声波检测技术对器件进行扫描测试显微成像的设备。超声波扫描显微镜能够对器件进行表面、内部、穿透等多种扫描显微成像,广泛用于对微电子、集成电路、航空航天领域的器件、组件和材料的检测,实现失效分析、可靠性分析、过程控制、品质控制、产品研发、工艺提升等。
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