全自动超声波扫描显微镜顺利完成安装调试并投产

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超声波扫描显微镜,超声波扫描检测仪,超声波扫描显微检测系统

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随着全球半导体产业的不断快速扩张，半导体生产及检测设备的产能也越来越重要，尤其是全自动超声波扫描显微镜的推出及广泛应用，极大促进了半导体封装缺陷检测效率。全自动超声波扫描显微镜，利用超声波非接触、无损穿透检测的特性，对半导体器件进行内部逐层扫描采集，并根据扫描数据生成直观图像，实现了半导体封装缺陷的自动测量、自动判断和分拣，确定良品和不良品，并将不良品挑选处理，良品通过出料口传输流往下一道工序。随着项目的逐步推进，全自动超声波扫描显微镜成功发货、搬入、安装调试并顺利投产，为用户半导体生产线提供缺陷检测，成为半导体产线可靠的质量保障。
全自动超声波扫描显微镜具有一套超声波扫描成像系统，并配备四轴机器人实现自动上下料，针对半导体行业内的分立元件及模块进行在线全自动检测，可自适应各种尺寸和规格的料盘。全自动超声波扫描显微镜通过超声波换能器发出超声波信号，穿透芯片封装层，在材料界面发生发射，再由超声波换能器接收反射信号并进行成像，通过图像算法对图像进行分析、计算、判断，根据空洞率/缺陷率确定良品与不良品，通过复盘功能，确定芯片在料盘中的序号，以便后端将不良芯片挑出。

全自动超声波扫描显微镜系统专为半导体行业中的缺陷检测和质量控制而设计，可全自动精确测量晶片上的微结构，识别缺陷尺寸和良率。超声波扫描显微镜整个自动化装置是封闭的，非常适合在洁净室使用。FOUP和SMIF吊舱可以自动对接至测量系统，内部的处理和测量完全无需人工干预，通过模式识别功能，可以精确可靠地测量并定位缺陷位置和比率。这种自动超声波扫描显微镜测量过程排除了手工处理造成的损坏和污染，并确保了检验有价值的晶圆的高速率。
全自动超声波扫描显微镜产品特点：
全自动超声波扫描显微镜上下料功能，与产线无缝对接，实现全自动传输、检测、分拣，成倍提升测试效率；
自动识别自动抓取、自动传输、自动对位、自动检测判断、自动分拣不良品，实现全自动化操作；
出色的超声波扫描显微镜检测灵敏度和分辨率，高达微米级缺陷检测灵敏度，高清晰实时成像、检测、判定
功能强大的超声波扫描显微镜分析测量软件，自动测算空洞率/缺陷率
多种操作模式，兼容全自动超声波扫描显微镜/手动超声波扫描显微镜
灵活的功能及配置：扩展底座可用于FOUP、SMIF和晶圆盒，适用于6英寸、8英寸和12英寸晶片
全自动超声波扫描显微镜尺寸测量功能，可对缺陷进行自动尺寸测量、判定、数据上传、产品分拣等。
全自动超声波扫描显微镜功能强大的算法：自主研发的豆盘算法能够实时复盘，边采图边豆盘。人机交互功能丰富。界面图片可拖拽缩放，可在复盘图上双击NG芯片，即可索引显示出该芯片原图、NG类型等信息。自主研发的检测算法能够自动准确地检测芯片的线型及芯片异物等不良项。软件具备扫码、MES上传、人工复判等功能。
全自动超声波扫描显微镜分离元件上下料对接方式：料盘堆叠式上下料，预留AGV小车自动上下料、输送带来料并通过输送带出料/吸塑盒/卡式盒上下料、四轴机器人取放料满足多种料盘取放料的通用性
全自动超声波扫描显微镜扫码器：自动识别条形码或者二维码内包含的批次、数量等生产信息并形成清单呈现至工控机上，实现随时调用及查阅
全自动超声波扫描显微镜CCD成像系统：自动识别标签的位置，自动关联扫描成像结果，并能在标签空白处做成像不良对应的标记
全自动超声波扫描显微镜系统采用矩阵的运行方式，实现大尺寸料盘的高清晰度的成像，并根据成像图片实现自动复盘，呈现完整的料盘图像
全自动超声波扫描显微镜结果输出：根据检测项及对应的检测结果，输出不良品及检测项清单，对应不良品位苴清单，不良品率清单。
全自动超声波扫描显微镜安全环保：整个设备安全互锁，三重防护功能，机身表面任何部位均满足安全防护标准。

通过现场紧张的安装调试工作，保证了全自动超声波扫描显微镜的按时、按质、按量投产，并对用户现场操作人员进行了设备原理、设备操作、故障排查、设备维修、设备保养的培训，交接全自动超声波扫描显微镜全套设备布局图、工作原理、电气图纸、操作说明书等资料，确保客户未来设备使用更顺利。假如需要更多的技术支持和问题解答，请联系我们的专业人员以获得更详细的超声波扫描显微镜技术信息和支持。

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