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超声波扫描显微镜,超声波扫描检测仪,超声波扫描显微检测系统
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2015年超声波扫描显微镜首次亮相上海Semicon展会
  1988年,SEMICON展会于上海首次举行,三十多年来,一直伴随中国半导体行业的蓬勃发展,已成为行业内规模最大、影响最广的集技术、产业、市场、创新、投资于一身的半导体产业盛会,囊括当今世界上半导体制造领域主要的设备及材料厂商,包括无损检测设备超声波扫描显微镜。2015年3月,SEMICON展会在上海新国际博览中心再次如期举行,作为半导体封测领域的关键设备,超声波扫描显微镜成功亮相SEMICON展会。
  超声波扫描显微镜研发团队组建于2008年,专业研发、生产先进的超声波扫描显微镜。经过多年的研究发展,我们已凭借自身的科研优势、出色的技术管理、完善的产品服务,为半导体行业的发展提供高性价比超声波扫描显微镜,为半导体行业的发展做出贡献。我们立足于国内,创建超声波扫描显微镜生产基地,销售服务网络辐射全国,并逐步扩展海外超声波扫描显微镜销售渠道。此次Semicon展会参展产品中,我们隆重展示了全新推出的高性价比超声波扫描显微镜,该款设备专门为半导体行业和分析测试平台设计的最新一代产品,扫描速度快、精度高、成本合理。
  据了解,在超声波扫描显微镜诞生之前,半导体芯片研发人员、制造商和失效分析工程师对于半导体器件内部的空洞、分层等缺陷并没有有效的检测手段。超声波扫描显微镜的推出,让工程师能够对半导体芯片内部各层的缺陷进行分别检测,为半导体芯片的研发技术和制造工艺提供可靠的指导,发现器件制造和故障分析中的问题,不断提高半导体器件的性能水平。
  超声波扫描显微镜的核心是超声波换能器,能够产生和接收超声波信号,对被测半导体芯片器件反射/透射的超声波信号采集分析,提取信号中的有效信息,以直观图像的形式展示半导体芯片器件内部结构,并自动分析计算空洞率/缺陷率。全新一代超声波扫描显微镜,能够实现自动扫描、成像、分析,实现一键检测,高度自动化集成的操作使检测效率大幅提高,检测精度高达微米级,可用于半导体工厂生产中的器件筛选、工艺改良、失效分析、质量控制等。作为缺陷检测的关键设备,超声波扫描显微镜使半导体芯片的研发和生产能够有效发现内部缺陷,并明确缺陷所在位置,有效实现良率筛选和技术革新。
超声波扫描显微镜检测模式示意图
超声波扫描显微镜检测模式示意图
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