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WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜是SOI、贴合晶圆等的晶圆检查专用机。
根据您的要求，自动超声波扫描显微镜机器人自动搬运、自动测定、自动判定，可全自动工作。
WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜已经积累了在多个客户的量产线上连续运转的实际业绩，获得了高度的评价。
WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜
WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜可以根据您的要求，还可制作以下规格的装置。
半导体前工序的生产线设置用超声波扫描显微镜
WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜装置内处理室清洁度3级(ISO)以上（在洁净室内组装装置）
SUS箱体、支持FOUP
高速超声扫描检查
与具有相同分辨率的单焦点探头设备相比，WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜电子扫描式阵列探头设备可以做到高速显示。（机械部分的运动少，也有助于保持清洁度）
WAFER-LINE型键合晶圆超声波扫描显微镜支持晶圆：4～12英寸晶圆（支持晶圆盒）
