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| 超声波扫描显微镜的工作模式-透射扫描 |
| 超声波扫描显微镜有两种工作模式，反射扫描模式和透射扫描模式，下面将重点介绍透射扫描模式。超声波扫描显微镜切换到透射模式，需要两个超声波换能器，一个位于样品的上方发射超声波信号，另一个位于样品的下方接收透过样品的超声波信号。超声波扫描显微镜透射工作模式主要用于样品内部分层缺陷的快速简易筛选，特别是针对有大量样品需要筛检的场合。超声波扫描显微镜透射模式无法确定被测材料器件内部缺陷的深度位置，但可以比反射扫描模式更快捷，方便的判断被测器件内部是否有缺陷，因此被许多半导体封装企业广泛用于快速筛选产品。 |
超声波扫描显微镜的工作模式-透射扫描 |
| 作为重要的无损检测手段之一,超声波扫描显微镜利用超声波穿透弹性材料并成像的分辨率，已经与光学显微镜分辨率性能相当，在很多不透明样品无损检测应用中，超声波扫描显微镜已经不可替代，比如半导体封装测试这种高附加值的行业。对于大多数金属、半导体、陶瓷更刚性材料，超声波扫描显微镜的表面波会在样品界面发生明显的变化。如果一种材料的表面有另一种界面，则表面波的传输会非常敏感，如果是异性材料，则表面波的传输取决于材料界面的方位和方向，如果界面存在裂纹或者分层，则表面波的反射就会发生强烈的差异，这些回波的差异都会被超声波扫描显微镜探测到并分析输出结果。 |
| 对于不同的样品，超声波扫描显微镜往往需要采用不同规格的超声波探头，而这些探头往往都是单独定制的。超声波扫描显微镜会对每个扫描位置的声波信号进行探测分析，对于声波振幅、时间、极性的差异，都会以图像的形式进行颜色标识并输出。由于超声波扫描显微镜是在不破坏样品的情况下，对样品进行穿透检测，并输出高分辨率的扫描图像，所以被广泛应用。透射扫描是超声波扫描显微镜非常重要的一种扫描模式，但是由于透射扫描采用了低频探头，导致透射扫描图像分辨率较低，无法达到与C扫描相当的效果，限制了透射扫描的应用。 |
| HTS高分透射扫描，在传统透射扫描的基础上，进行了重新设计，可以选择更高频率的探头，焦距的选择也相对较多，使得超声波扫描显微镜的透射分辨率得到了明显提高。超声波扫描显微镜C扫描使用相位反转着色来标识缺陷位置，但很多着色并不一定准确，经常出现误着色情况，单纯通过着色图像可能会带来很大误判，通过HTS高分透射扫描则可以很好的验证C扫描着色图像的缺陷情况，避免误判的发生。对于微小塑封器件，超声波扫描显微镜C扫描一般无法获得非常清晰的图像，但使用HTS高分透射扫描，则可以获得比C扫描更好的图像效果。随着技术的不断发展和进步，超声波扫描显微镜的透射扫描模式也将越来越多的被应用。 |
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