SAT-HR型超声波扫描显微镜

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超声波扫描显微镜,超声波扫描检测仪,超声波扫描显微检测系统

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SAT-HR型超声波扫描显微镜

概要
SAT-HR型超声波扫描显微镜在高分辨率、受好评的SAT Ⅲ的基础上，进一步提高了分辨率。
为提高分辨率，SAT-HR型超声波扫描显微镜提高了以往使用的超声波频率。在高频化方面，超声波在传播介质中的衰减越来越大，信噪比降低的弊端变大，所以在检查用途方面，300MHz前后是实用的最高频率。
300MHz频率的超声波，在最佳条件下，仅限于5μm左右宽度的线型识别，对于正在应用于最新LSI封装的TSV、Cu柱等微细结构体的检查时，可能无法适用。
SAT-HR型超声波扫描显微镜开发了新型电路、提高了分辨率，成功突破了这类超声波检查装置的极限。

SAT-HR型超声波扫描显微镜

超声波扫描显微镜产品构成
FS100ⅢHR型超声波扫描显微镜支持探头频率5～75MHz，FS200ⅢHR型超声波扫描显微镜支持探头频率5～140MHz，FS300ⅢHR型超声波扫描显微镜支持探头频率5～300MHz。