首台国产超声波扫描显微镜隆重亮相

行业领先、开放共享、交流学习

超声波扫描显微镜,超声波扫描检测仪,超声波扫描显微检测系统

SAMbaike(超扫百科）
记住本站不迷路

首台国产超声波扫描显微镜隆重亮相

超声波扫描显微镜（Scanning Acoustic Microscope (SAM)，简称“C-SAM设备”）利用超声波无损穿透的特点，是半导体封装制造行业必不可少的质量检测与失效分析仪器，对于检测封装制造过程中的空隙，裂缝和分层等各种缺陷具有独特的效果，有利于提高产品质量与可靠性。目前，行业内使用的超声波扫描显微镜，大部分被美、日、德品牌垄断。国产超声波扫描显微镜研发团队从2006年开始跟踪国际先进的超声波扫描显微镜设备，在消化吸收国外超声波扫描显微镜先进技术的基础上，进行相关原理创新，建立了各模块子系统供应链。2009年，根据国内市场的特点，逐步建立从低频到高频、从低速到高速、从微型到大型的国产超声波扫描显微镜健全产品系列，持续致力于超声波扫描显微镜的普及化和国产化。近日推出的国产高性能超声波扫描显微镜，具有扫描速度快、体积小、重量轻、操作便捷等特点，整机超声波扫描显微镜价格仅为进口产品的三分之一左右。该超声波扫描显微镜产品更加适合集成电路、分立器件产线需求，将超声扫描显微镜从分析科学领域进一步推广至制程管控检测领域。

超声波扫描显微镜发展历史：
1974年，R.A. Lemons和C.F. Quate于美国斯坦福大学微波实验室开发了第一台采用50MHz探头的超声波扫描显微镜（SAM）。
1980年，俄罗斯科学院生物物理内窥镜实验室R.Gr梅夫（Maev）和他的学生搭建了第一台高分辨率（频率高达500MHz）的透射式超声波扫描显微镜SAM。
第一台商用超声波扫描显微镜SAM ELSAM在Ernst Leitz GmbH由马丁·霍普（Martin Hoppe）和他的顾问带领的小组阿卜杜拉·阿塔拉（Abdullah Atalar）(斯坦福大学 ), 罗曼·梅夫（Roman Maev）(俄罗斯科学院）和安德鲁·布里格斯 (牛津大学)联合制造，工作在100MHz至1.8GHz的宽频率范围。
1990年，世界上第一台频率超过GHz的超声波扫描显微镜
1991年，世界上第一台在超声波扫描显微镜中做出GHzV(z),V(f)定量测量系统
1996年，推出世界上第一台数字超声波扫描显微镜
1998年，世界上第一个做出带有球面透镜的超声波扫描显微镜换能器
2002年，世界上第一个在超声波扫描显微镜上实现材料阻抗测量
2004年，世界上第一个在超声波扫描显微镜扫描控制平台中采用空气垫悬浮线性马达驱动的超高精度X-Y扫描系统
2004年，世界上第一个实现超声波扫描显微镜自动对焦系统，并受到专利保护
2004年，世界上第一个实现多探头同时扫描大件样品的超声波扫描显微镜系统，并受到专利保护。
2009年，首台国产超声波扫描显微镜荣获“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”奖

2009年，中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会、中国电子报共同评选出“第四届(2009年度)中国半导体创新产品和技术”36个项目。国内首台国产超声波扫描显微镜由中电科自主研发，并荣获此奖项。该型国产超声波扫描显微镜是一种离线的检测分析设备，在失效分析、工艺过程开发、关键生产工序的监控及小批量产品检测方面有很大的优势，填补了国产超声波扫描显微镜的空白，并且在各类超声图像的构建与分析、超声发射接收装置、聚焦承片装置等多方面拥有相关专利及自主知识产权的核心技术。该国产超声波扫描显微镜可用于各类半导体器件封装如QFN、BGA、FlipChip、CSP、MCM等内部损伤及不连续性等各种缺陷的无损检测及可视化分析，并可用于MEMS的内部无损检测、制造工艺分析以及陶瓷、玻璃、金属、塑料等各种材料的特征、特性分析。相对于X射线的无损检测，超声波扫描显微镜可以完整反映器件内部粘接层、填充层、结合层等各方面的内部缺陷，作为无损检测的新一代技术，它拥有不可替代的优势。它以良好的技术支持切实为用户解决问题，在与国外同类产品的竞标中获得了用户的认可，受到了众多用户的好评。该型国产超声波扫描显微镜不但在技术上成为用户产品生产的可靠保障，而且真正降低了国内用户的生产成本。

首台国产超声波扫描显微镜隆重亮相